事業内容BUSINESS

受託成膜事業

スパッタリングによる各種薄膜の成膜
各種金属材料、酸化膜材料等の受託成膜を行っております。特にプラスチック基板上への成膜を得意としております。
成膜可能材料:Pt,Ti,Al,Cu,Ni,Sn,C,Si,
ITO,TiO2,SiO2,Al2O3 etc.
最大成膜エリア:400mmφ or 315mm□
機能膜開発
結晶性や電気伝導性の制御、密着性改善など特殊仕様の機能膜開発にお応えします。薄膜の品質でお困りの際は是非ご相談ください。

薄膜実験用器具

実験用ガラス切り
薄板ガラスが精度よく簡単にカットできます。断面SEMの試料作成にも最適です。薄板刃(0.5~1.3mm用)と標準刃(1.1mm~3mm用)の2種類を標準装備しております。
シート抵抗測定用4探針ケーブル
信頼性の高い4探針法により薄膜の表面抵抗を測定するためのケーブルです。JISに準拠した測定ケーブル(補正係数が必要)とオリジナルの測定ケーブル(補正係数不要)があります。
小型ヘッド(2mmピッチ)も販売致しております。

実験用ガラス基板

透明導電膜
FTOガラスをご指定サイズでカット販売(加工精度±0.5mm)いたします。

実験用ガラス基板の価格表
白金付ガラス基板
0.7mmのガラス上にTiとPtが成膜した基板です。

技術コンサルティング

太陽電池
太陽電池業界に新たに参入をご検討中の企業様へ太陽電池に関する技術情報を提供し、参入可能分野・開発課題の提案をしております。
プロセス技術
・真空プロセス・プラズマプロセスに関する技術コンサルティングをしております。
・新規プロセスの立ち上げに伴うプロセス技術の提案および受託開発をしております。
真空装置選定、装置仕様決定のお手伝いも致しております。

その他の例

I-V測定用セルホルダー
ぺロブスカイト型太陽電池を始めとする薄膜系太陽電池の測定を素早く行えるセルホルダーの設計・製作・販売を行っております。遮光マスクの設計・製作も行います。
石英キャピラリーカッター
石英キャピラリーを綺麗にカットできます。
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