受託成膜SPUTTERING

受託成膜の流れ

オリジナル仕様のスパッタリングマシーンまずは成膜したい材料、用いる機材をお知らせください。
この際可能な限りで実験の目的をお知らせください。
お客様のご要望をもとに、前処理条件、成膜条件、膜厚等を決定いたします。

ご相談から納品までの流れ

現在の成膜可能材料

Pt、Au、Ag、Cu、Ti、Cr、Al、Sn、Zn、Ni、Si、C、ITO、TiO2、Al2O3、SiO2

ご提供材料での成膜も承っております。

可能な基材

ガラス、金属、セラミック、Siウェハー、各種プラスチック材料

最大成膜エリア

400mmΦ or 315mm□

ご要望によりパターン成膜も可能です

パターン成膜電話・メール等にて直接ご要望をお聞かせください。

お問い合わせはコチラ

© 2021 Astellatech, inc.