4探針ケーブル4CABLES
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薄膜の抵抗測定
通常のテスターでは、正確な膜抵抗を測ることができません。これは、抵抗測定時に薄膜とプローブ間の接触抵抗およびプローブからテスターまでのリード線の抵抗も同時に測ってしまうためです。
kΩ以上の大きな抵抗の薄膜ではあまり問題になりませんが、kΩ以下の低い抵抗測定の際には大いに問題になります。
2端子による抵抗測定
4探針ケーブル
電圧と抵抗を別々に測定するので、接触抵抗や、リード線の抵抗の影響を受けることなく、膜の抵抗だけを測定できます。
SR4-J
JISK7194 に準拠した4 探針測定用ヘッドです。
補正係数は約4.2です。電流(I)探針間15mm
SR4-S
小面積の測定に適した探針ピッチ2mmの小型ヘッドです。
補正係数は個別測定して本体に表示します。電流 (I)探針間6mm
SR4-SS
微小面積の測定に適した探針ピッチ1mmスクエアタイプの小型ヘッドです。
補正係数は個別測定して本体に表示します。電流(I)探針間1mm
デモ品の貸し出しもおこなっております!!
オプション品
SR4-S・SR4-SS用ホルダー
SH-100
据え置きで測定できるためプローブの接触圧が均一で、測定値が格段に安定します。
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